Disciplinas - Mestrado Acadêmico em Engenharia Mecânica - EM ITF

EM ITF – Introdução à Tecnologia de Filmes Finos

Carga Horária: 90

Créditos: 6

Ementa: Tecnologia de vácuo. Processos de crescimento de filmes finos em vácuo: conceitos e aspectos tecnológicos. Processos de crescimento de filmes finos em solução: conceitos e aspectos tecnológicos. Técnicas de caracterização estrutural e morfológica. Aplicações de filmes finos em eletrônica, óptica, endurecimento de superfícies, multicamadas ópticas e magnéticas.

Bibliografia:

CHAPMAN, B. Glow Discharge Processes. New York: John Wiley & Sons, 1980.

MEISSEL, L.I; GLANG, R. Handbook of Thin-Film Technology. New York: McGraw Hill Book, 1970.

OHRING, M. The Materials Science of Thin Films. San Diego: Academic Press, 1992.

PANNO, J. Gene Therapy: Treating Disease by Repairing Genes. New York: Facts on File, 2005.

RIAD, A.E.; BARLOW III, F.D. Thin Film Technology Handbook. New York: McGraw Hill, 1998.

SMITH, D.L. Thin Film Deposition: Principles and Practice. Boston: McGraw Hill, 1995.

WAITE, L.; FINE, J. Applied Biofluid Mechanic. New York: McGraw-Hill, 2007.